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核心产品 > IC光刻胶 >KrF光刻胶

乐天堂(Letiantang)体育app官网首页-乐天堂世界杯（中国）:KrF光刻胶

产品应用

- 集成电路28-180nm 技术节点逻辑、存储、功率器件
- IMP、AA、gate、contact、poly，metal，via等工艺应用

产品特性

- 分辨率：0.12-0.4um
- 膜厚：0.3-3um
- 正负性，高深宽比，良好的工艺窗口，良好的解析度，低驻波/耐刻蚀

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显示光刻胶 IC光刻胶 OLED材料

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